Images of imperfections in crystal, depending on the location of defects, are experimentally studied. Special samples of perfect silicon single crystals with near-surface layers deformed by rough machining (grinding) are used. A new X-ray diffraction method for studying imperfections in crystals is proposed, based on the interpretation of the sectional topogram. Thin lines on the topogram are shown to be the result of kinematic scattering, and the central region is that of the dynamic one, i.e. this method makes it possible to observe simultaneously both kinematic and dynamic X-ray scattering from the same crystal.%Проведены экспериментальные исследования изображений несовершенств в кристалле в зависимости от места нахождения дефекта с помощью специальных образцов совершенных монокристаллов кремния, приповерхностные слои которых деформированы грубой механической обработкой (шлифовкой). Предложен новый рентгенодифракционный метод исследования несовершенств в кристаллах, основанный на интерпретации секционной топограммы. Показано, что тонкие линии на топо-грамме - результат кинематического рассеяния, а основная область - динамического, т.е. данный метод дает возможность от одного и того же кристалла одновременно наблюдать как кинематическое, так и динамическое рассеяние рентгеновских лучей.
展开▼
