МЕТОД РЕФЛЕКТО-ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ НА БАЗЕ ЛАБОРАТОРНОГО ОСТРОФОКУСНОГО ИСТОЧНИКА

摘要

Представлен новый метод рефлекто-интерферометрии на базе лабораторного источника рентгеновского излучения ддя исследования тонкопленочных структур с использованием составных преломляющих линз. Одним из основных преимуществ предлагаемого метода является простота оптической схемы, когда сфокусированный рентгеновский пучок, отраженный от параллельных плоских поверхностей, создает интерференционную картину в широком угловом диапазоне. Благодаря этому интерференционная картина может быть получена за один снимок без необходимости проведения процедуры сканирования путем наклона образца или детектора. Возможности нового метода были экспериментально продемонстрированы на базе лабораторного острофокусного источника MetalJet компании Excillium, на характеристической линии GaK_α (9.25) кэВ. Была получена серия интерференционных картин для тестового образца ― свободно висящей мембраны Si_3N_4 толщиной 500 нм. На основании полученных результатов показаны основные преимущества метода: высокое временное и пространственное разрешение, а также предложены возможные применения рефле-кто-интерферометра как на лабораторных, так и на синхротронных источниках излучения.