МЕТОД МОНТЕ-КАРЛО В РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ. 1. МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТ

摘要

Проведено сравнение результатов моделирования по методу Монте-Карло сигналов растрового электронного микроскопа, получаемых при сканировании прямоугольных канавок в кремнии, с экспериментальными результатами, полученными с помощью растрового электронного микроскопа, работающего в режиме сбора вторичных медленных электронов. Для сравнения были выбраны параметры максимумов сигналов, характеризующих прохождение зонда первичных электронов в районе стенок прямоугольных канавок: ширины и амплитуды максимумов, интегральные вклады максимумов, положения максимумов относительно стенок канавок. Сравниваются величины параметров и их зависимости от энергии первичных электронов. Все зависимости сильно различаются, как по величинам параметров максимумов, так и по их зависимостям от энергии первичных электронов. Это доказывает, что традиционное представление метода Монте-Карло в растровой электронной микроскопии не работает.