СТРУКТУРНЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ НАНОПОРИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ ИОНОВ НИЗКОЙ ЭНЕРГИИ

摘要

На примере кристаллического кремния рассмотрено влияние степени пористости и радиуса пор на особенности изменений в морфологии нанопористых материалов, возникающих в результате их физического распыления ионами низких энергий. Методом молекулярной динамики проведено моделирование процесса разрушения пористых структур с различными размерами пор и пористостью. На основании полученных зависимостей потенциальной энергии системы и удельной площади поверхности от температуры определены значения указанных параметров, при которых происходит процесс сжатия пор.