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摘要

標記の研究会が日本分光学会極端紫外分光部会および宇rn都宮大学オプティクス教育研究センター(CORE)の共催rnの下,平成19年12月6日(木)(レーザー学会第368回研究rn会「短波長光の発生とその応用」共催)~7日(金)(連携rn融合研究「ベタワットレーザー駆動による単色量子ビームrnの科学」シンポジウム共催)の2日間,宇都宮大学工学rn部アカデミアホールにて開催された.近年,次世代半導体rnリソグラフィー露光用13.5nm光源や高出力真空紫外・極rn端紫外コヒーレソト光源の開発に代表されるように,レーrnザー励起X線源の光源研究やその応用研究が盛んに行わrnれている.
机译:上述研究小组由日本光谱学会极紫外光谱小组委员会和the谷宫大学光学教育与研究中心(CORE)共同赞助,2007年12月6日(星期四)(日本激光学会第368次研究会议)宇都宫大学工学部学术研究室,从“短波长光的产生及其应用”到第7天(星期五)共2天(共同赞助的“聚变研究由β-瓦特激光驱动的单色量子束的科学”座谈会)举行了。近年来,以开发用于下一代半导体rn光刻的13.5 nm光源和高功率真空紫外/极端rn边缘相干光源为代表的激光激发X射线光源的光源及其应用研究变得越来越普遍。已经做到了。

著录项

  • 来源
    《分光研究》 |2008年第1期|42-44|共页
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  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 jpn
  • 中图分类
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  • 入库时间 2022-08-18 00:04:44

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