机译:在Si基板上具有高质量激光晶化通道的三维堆叠式多晶硅Si-TFT CMOS逆变器
Nanu-Bio Electronic Devices Team, Electronics and Telecommunications Research Institute, 161 Gajeong-Dong, Yuseong-Gu, Daejeon 305-350, Republic of Korea;
3D stacked poly-Si; vertical integration; laser crystallized channel; two-layer CMOS inverter;
机译:使用激光结晶多晶硅TFT的三维堆叠CMOS反相器
机译:使用激光结晶多晶硅薄膜TFT的3D堆叠式CMOS反相器
机译:使用激光结晶多晶硅薄膜TFT的3D堆叠式CMOS反相器
机译:DPSS CW激光横向结晶法在无碱玻璃基板上以550 / spl℃/℃制备的自对准上下金属双栅低温多晶硅TFT
机译:将超薄(1.6-2.0 nm)RPECVD堆叠的氧化物/氮氧化物栅极电介质集成到双多晶硅栅极亚微米CMOSFET中。
机译:具有片上系统应用混合传感器/存储器特性的CMOS兼容多晶硅纳米线器件
机译:固相结晶桥接晶粒多晶硅薄膜的特性研究