外部共振器型短パルス半導体レーザの開発

摘要

The BEAM IMPACT series external-cavity short-pulse laser diodes have been developed as optimal seed sources for fiber lasers. The BEAM IMPACT series comprises an external laser resonator with a laser diode and small grating that provides a short pulse and stable wavelength. It produces optical pulses with a narrow spectral band of 0.1 nm (FWHM) or less in 1-μm wavelength bands. In addition, it suppresses wavelength variations to 0.1 nm or less across a wide temperature range. "HK-5630" (short pulse type) of the BEAM IMPACT series, using a super luminescent diode as alight source, provides a short optical pulse width of 300 ps range and a peak optical power of more than 0.5 W. "HK-5636" (high power type) of the BEAM IMPACT series, using a Fabry-Perot laser diode, provides a peak optical power of more than 1 W. Based on these features, the BEAM IMPACT series is useful for the seed sources for fiber lasers for micro processing.%ファイバレーザのシードレーザとして最適な，外部共振器型短パルス半導体レーザ「BEAM IMPACT」シリーズを開発した。「BEAM IMPACT」は，レーザ素子と小型グレーティングにより外部共振器を構成しており，波長1μm帯におけるスペクトル幅は0.1nm(FWHM)以下，温度変化に対する波長変動は0.1nm以下と優れた安定性を有することを特長とする。光パルス幅が短いことを特長とする「HK-5630(短パルス型)」シリーズでは，レーザ素子としてスーパールミネッセントダイオードを使用し，300ps台の短い光パルス幅で0.5W以上のピークパワーを達成した。高出力を特長とする「HK-5636(高出力型)」シリーズでは，ファブリぺロー型レーザダイオードを使用し，1W以上の大きなピークパワーを達成した。これらの特性より，本レーザが微細加工用ファイバレーザのシードレーザとして有用であることを確認した。