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机译:用于恶劣环境的表面微机器碳化硅Pirani仪表
Delft University of Technology Delft The Netherlands;
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Silicon carbide; Temperature sensors; Pressure sensors; Resistance; Sensitivity; Heating systems;
机译:电场涉及纳米晶碳化硅氮化物(NC-SiCN)薄膜升高温度的运输,用于苛刻的环境应用
机译:碳化硅材料可以承受恶劣的环境
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法沉积的非晶碳化硅薄膜(a-SiC:H)作为恶劣环境应用中的保护涂层
机译:SUMMIT V / spl trade /中的高性能表面微加工皮拉尼压力计
机译:多晶硅碳化硅钝化电容式MEMS应变仪,适用于恶劣环境。
机译:通过加入硅熔体中加入硼的环保制备反应键合碳化硅
机译:应用于恶劣环境的碳化硅电容式压力传感器的研究
机译:适用于恶劣环境应用的碳化硅传感器和电子设备