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机译:新型纳米精度和远距离电容式位移传感器
Xiaokang Liu is with the Engineering Research Center of Mechanical Testing Technology and Equipment (Ministry of Education), Chongqing University of Technology, 69Hongguang Road, Ba Nan District, Chongqing 400054,P.R.China (email:lxk@cqut.edu.cn);
Capacitive sensing; Displacement nanometrology; Long range; Time grating; capacitive sensing; long range; time grating;
机译:一种新型电容远程位移纳米传感器,基于时光的差分传感结构
机译:基于时间光栅的电容式远程位移纳米传感器的传感机理及误差分析
机译:基于时间光栅的电容远程位移纳米传感器的传感机理及误差分析
机译:时间/电阻参考电容传感器接口,用于亚纳米范围内的位移测量
机译:使用电热执行器和电容位移传感器的反馈可控1D和2D微型定位器。
机译:具有高精度和长距离的绝对电容位移测量系统的误差分析与建模
机译:一种用于高精度和长距离的新型电容位移传感器