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机译:表面微机械悬栅多晶硅薄膜晶体管的感测灵敏度
Groupe de Microelectronique, IETR, UMR-CNRS 6164, Universite RENNES I, 35042 Rennes Cedex, France;
surface micromachining; suspended gate thin film transistor; gas-sensor;
机译:新型带有多晶硅垫片的底栅多晶硅薄膜晶体管
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机译:在线提取表面微加工多晶硅薄膜电阻温度系数的方法
机译:悬浮闸门多晶硅薄膜晶体管的DNA检测
机译:静电,表面微机械加工的多晶硅微致动器的设计,制造,位置感测和控制。
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机译:通过表面微加工执行的具有集成微流体通道的悬浮栅场效应晶体管,用于液体传感