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Caesium Ion Gun

机译:铯离子枪

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摘要

The IG-5C Caesium (CS) ion gun performs measurement of electronegative elements and caesium cluster analyses. It is suited to dynamic, static and imaging secondary ion mass spectroscopy (SIMS) applications particularly under UHV conditions. The intense beam of caesium ions produced from the surface ionisation source is highly focused and rngenerates a spot size adjustable to 20 urn. The ion source assembly is compact and self-aligning. Beam energy is 0.5-5.0 keV with beam currents to 150 nA.
机译:IG-5C铯(CS)离子枪进行负电性元素的测量和铯簇分析。特别适用于特高压条件下的动态,静态和成像二次离子质谱(SIMS)应用。从表面电离源产生的强铯离子束高度聚焦,并产生可调节至20微米的光斑尺寸。离子源组件紧凑且可自动对准。束电流为150 nA时,束能量为0.5-5.0 keV。

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  • 来源
    《Semiconductor International》 |2009年第4期|29-29|共1页
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  • 收录信息 美国《工程索引》(EI);
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  • 正文语种 eng
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