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摘要

Leviflow LFS-04 and LFS-08 are two 3/8 in. ultrasonic flow meters for non-invasive measurement of liquid flow rates from 50 mL/min to 8 L/min. All fluid contacting parts are made of ultrapure PFA and meet the requirements of single-wafer cleaning tools. The sensors and the DSP-based electronic controller are compact and versatile.
机译:Leviflow LFS-04和LFS-08是两个3/8英寸超声波流量计,用于无创测量液体流速从50 mL / min到8 L / min。所有流体接触部件均由超纯PFA制成,并满足单晶圆清洁工具的要求。传感器和基于DSP的电子控制器紧凑而通用。

著录项

  • 来源
    《Semiconductor International》 |2010年第2期|31|共1页
  • 作者

  • 作者单位
  • 收录信息 美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

  • 入库时间 2022-08-17 23:12:22

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