高均一性•再現性確保

摘要

独アイクストロン(日本法人=東京都品川区北品川1-8-11、03-5781-0931)は、カーボンナノチューブ(CNT)/グラフェン用CVD装置として、2～12インチウエハーに対応するBlack Magic(BM)シリーズを展開する。研究開発向けをメーンにコンスタントに受注しており、2013年も同レベルの販売を見込む。製品ラインアップとして、2インチ対応の「BMII System」、4/6インチ対応の「BM Pro System」、300mm対応の「BM300」を取り揃える。