ナノツルテック　中古装置検査系のラインアップ拡充

摘要

11年の創業以前から、中古半導体製造装置·検査装置を中心に、主に立ち上げ付きで販売·保守を行っている。手がける装置は、KLAテンコール製の中古·測定装置をメーンに、露光装置やコーター&デベロッパーを多数販売するとともに、段差測定機や欠陥データ管理システム（新品）も手がけている。なお、18年末からは、これらの装置.製品に加えてアプライドマテリアルズ（AMAT）の全自動欠陥レビュー装置「SEMVisionシリーズ」の中古装置（CXからG5まで）を提供·サポートできる体制を整えており、事業の幅を大きく広げている。