華虹集団無錫工場に装置導入300mmで月産能力5000枚

摘要

中国の半導体製造大手の上海華虹集団(上海市)は6月上旬、江蘇省無錫市に建設した300mm工場の装置搬入式典を開催した。まず月産能力5000枚の試作ラインを立ち上げる。同社は上海市に200mm工場3拠点と200mm工場2拠点を展開している。200醒工場の月産能力は計17•4万枚。200mm対応の3工場ともクリーンルーム内は製造装置が滿載で、以前から拡張余地がなくなつていた。また、200mm対応の中古装置が市場にほぽ出回らず、200mm工場の新設も困難だった。