•キヤノン後工程i線露光機0.8 μmに対応

摘要

キヤノン(株）(東京都大田区下丸子3-30-2、03-3758-2111）は、FOWLP(Fan Out Water Level Package)など先端パッケージに対応したi線ステッパー「FPA-5520iV」(写真)の高解像オネションを12月下旬から発売する。