荏原製作所CMP装置年內はフル生産継続酸化膜系のシェア上昇期待

摘要

㈱荏原製作所(東京都大田区羽田旭町11-l、03-3743-6111）の半導体用CMP装置は、2O18年いつぱいはフル生産が続く見通しだ。足元では半導体メーカーのあいだで投資計画の一部見直しなどがあるものの、メモリーを中心に比較的高水準の投資が続くとみており、中長期でのCMP装置の拡大に期待を寄せる。17年度(17年12月期、決算期変更のため9カ月の変則決算)のCMP装置事業は、売上高が前年度比9%増の498億円、受注高が同17%減の479億円を記録した。前期に記録した高水準の受注がベースとなり、引き続き高い成長を記録した。一方で、17年はアプリケーション別で見れば酸化膜CMP工程の多いメモリーに偏った投資ミックスとなったため、ロジック向けのメタルCMP工程に強い同社にとってはやや不利な状況で、市場シェアは若干減少した。