日商エレ，次世代薄膜コーティング装置で受託コーティングサービスを開始モールディング金型のショット数を大幅に向上

摘要

日商エレクトロニクスは，シンガポールのNTIが開発した薄膜コーティング装置を用いて，多種多様な生産材，半導体パッケージングに使用されるモールディング金型，製品の表面にコーティングを行う受託コーティングサービスを開始した。FCVAコーティング装置は，NTIが独自に開発したFCVA方式で成膜を行う装置であり，炭素系薄膜においては，1.5nmという超薄膜のコーティングを可能としている。