関東化学め半導体・fpd用檆能性薬品低アタックを実琭したcmp後洗浄液を発表r＆dへの積榦的な取り絤み

摘要

関東化学は，半導体・FPD用機能性薬品を数多くrnラインナップしている。半導体用としては，CMPrn後洗浄液をはじめ，ドライエッチング残渣除去液なrnど，FPD用では各種エッチング液を中心に，有機rnEL材料洗浄液などを製品化している。本稿では，同rn社の各種機能性薬品についてまとめる。