EUVL国際会議，実用化を視野に入れた発表相次ぐ課題多い量産向けEUV装置も10年に一部出荷始まる一方，DPL対応ArF液浸露光装置は09年から出荷

摘要

EUVリソグラフィに関する国際会議「2008 rnIntemational EUVL Symposium」が，08年9月rn28日から10月1日まで，の4日間，米国カリフrnオルニア州レイクタホで開催。最新の技術・装置開rn発の成果が報告された。本稿では，同会議の主要トrnピックスを紹介する。また，露光装置メ一カ一大手rn3社の動向についてもまとめる。