シンフォニアテク丿ロジーの450mm FOUP対応ロ－ドポート顧客の要望を汲み上げ投資リスク最小化に貢献Common Platformを確立し業容拡大を狙う

摘要

半導体製造装置メーカー各社は，450mmウェーrnハに対応した新製品の開発，生産体制の整備を進めrnている。ロードポートで世界的なシェアを有するシrnンフォニアテクロノジーは，450mm FOUP対応rnロードポートをリリースした。開発に当たり，顧客rnの要求や規格化に向けた動きに積極的にコミットしrnてきたという。同社電機システム本部半導体・液rn晶機器 顧問 溝河巧氏に話を伺った。