机译:六氟化钨和原硅酸四乙酯的电子束诱导沉积生长的压力效应
University of Tennessee Materials Science and Engineering M 407 Walters Life Science Building Knoxvile, TN 379960-0840;
electron beam-induced deposition; interaction volume; scanning electron microscope; precursor gas; extreme ultraviolet mask;
机译:动态前驱体气体压力对电子束诱导沉积非晶Si–C–O纳米棒生长行为的影响
机译:六氟化钨前体用于通孔和插塞金属化的氮化钨沉积研究
机译:了解有机金属配合物的电子刺激表面反应,以设计用于电子束诱导沉积的前体
机译:使用四乙基甲基硅酸盐,二氯硅烷和氨混合物的氮氧化硅膜的低压化学气相沉积
机译:通过大气压金属有机化学气相沉积(AP-MOCVD)开发用于氧化锌薄膜生长的新型单源前驱体,用于微电子器件。
机译:金(I)聚焦电子束沉积的N-杂环基石前体
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