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摘要

ABBは，半導体・液晶製造の乾燥工程で使われるイソプロピルアルコール（IPA）のガス監視に特化した赤外線ガス分析計「EL3010IPA」を発売すると発表した。IPA専用機として単機能化したことで，操作性の向上とコストダウンを図った。同社では，年間30セットの売上げを見込んでいる。