METHOD FOR THERMO-MECHANICAL CONTROL OF A HEAT SENSITIVE ELEMENT AND DEVICE FOR USE IN A LITHOGRAPHIC PRODUCTION PROCESS

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METHOD FOR THERMO-MECHANICAL CONTROL OF A HEAT SENSITIVE ELEMENT AND DEVICE FOR USE IN A LITHOGRAPHIC PRODUCTION PROCESS

机译：用于光刻生产过程的热敏元件和装置的热机械控制方法

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The invention provides a method for thermo-mechanical control of a heal sensitive element subjecl to a heal load, comprising: providing a non-linear thermo-mechanical model of the heat sensitive element describing a dynamical relationship between characteristics of the heat load and deformation of the heat sensitive element; calculating a control signal on the basis of an optimization calculation of the non-linear model, providing an actuation signal to the healer, wherein the actuation signal is at least partially based on the control signal, healing the heat sensitive element by a heater on the basis of the actuation signal.

机译：本发明提供了一种用于将愈合敏感元素Subjec1的热机械控制到愈合负荷的方法，包括：提供一种热敏元件的非线性热机械模型，所述热敏元件描述了热负荷特征与变形之间的动态关系热敏元素;基于非线性模型的优化计算计算控制信号，向治疗师提供致动信号，其中致动信号至少部分地基于控制信号，通过加热器愈合热敏元件致动信号的基础。

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《Research Disclosure》 |2020年第676期|1398-1408|共11页
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入库时间 2022-08-18 21:57:59

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