フォトレジスト材料など紹介 imecとの合弁会社で EUVレジスト量産

摘要

JSRは石油化学系事業で長年培ってきた高分子技術を生かし、半導体の製造に用いられる各種材料を提供する。セミコンジャパンでは、回路形成に用いるフォトレジストを中心に関連材料を展示·紹介する。