キヤノンナノィンプリント半導体製造装置東芝メモリ四日市工　場に納入

摘要

キヤノンは、ナノインプリント技術を用いた半導体製造装置「FPA—1200NZ2C」を東芝メモリ四日市工場に納入。世界初となるナノインプリント技術を用いた半導体メモリーの量産に向けた開発が大きく加速する。