オムロンファイバ同軸変位センサー発売微細部品の測定精度向上

摘要

オムロンはファイバ同軸変位センサー「ZW-5000シリーズ」を発売した。 センサーヘッドから照射する光のスポットを同社従来品の5分の1の最小10マイクロメートル以内に絞ることにより微細部品の隙間や位置、形状などの測定精度を向上した。スポット径9マイクロメートル品の「同S5010」で測定範囲10プラス マイナス0.5ミ リメートル、静止分解能0.004マイクロメートル、リニアリティプラスマイナス0.45マイクロメートル。フィルムの貼り合わせ位置確認などを高精度に行える。