産総研両面干渉計を開発測定結果国家標準にトレーサブル

摘要

産業技術総合研究所(産総研)は、長さの国家標準にトレーサブルに、試料の厚さを測定できる厚さ測定用両面干渉計を開発し、シリコンウェハーの厚さ測定に応用した。半導体製造では、業界団体がシリコンウェハーの寸法の規格を定めており、厚さは重要な項目の一つ。測定結果の信頼性が一層重要になっており、シリコンウエハーの厚さ測定でも国家標準へのトレーサビリティへの要求が高まっている。また、集積度向上のための3次元積層用のシリコンウエハーではこれまで以上の薄さが求められ、厚さ管理は一層重要となっている。