関西学院大と豊田通商“欠陷ゼロ”のSiC基板実現非接触型のナノ制御プロセス技術

摘要

関西学院大学と豊田通商は、“欠陥ゼロ”のSiC(シリコン力ーパイド)基板を実現する独自のプロセス技術を開発した。同技術によるSiC基板のサンプルを21年度上半期中に半導体メー力ーへ供給開始する。