半導体プロセス材料メーカー各社EUV本格化へ投資活発関連材料の生産能力増強

摘要

半導体プロセス材料メー力ー各社では次世代露光技術「EUV」の本格化に向けた投資が活発化している。今後の高い成長が見込まれるEUV関連材料の生産能力增強投資や戦略出資などにより、半導体産業発展への貢献を目指す。