高速•高品質で連続成長液状金属Gaを三塩化Gaにガス化

摘要

大陽日酸は、三塩化Ga(ガリウム)ーアンモニア反応系により、高速、高品質、連続成長を実現するGaN(窒化ガリウム)結晶製造装置を開発した。化学技術振興機構(JST)産学共同実用化開発事業(NexTEP)の開発課題「THVPE法による高品質バルクGaN成長用装置」を受託していたもの。