東工大とNTTアドバテクノロジが開発1μGレべルの検出実現

摘要

東京工業大学(東工大)とNTTアドバンステクノロジは、複数の金属層で形成される積層メタル構造を用いて、超低雑音•超高感度特性を有するMEMS加速度センサーを開発した。従来のMEMS技術では困難だった重力加速度1μGレべル(G=9.8m/S~2の高分解能検知を実現した。