АНАЛИЗ РЕЗУЛЬТАТОВ И ВОЗМОЖНОСТИ РАЗВИТИЯ ТЕХНОЛОГИИ НАПЫЛЕНИЯ БУФЕРНОГО СЛОЯ YSZ В УСТАНОВКЕ НИЛО

摘要

Представлены результаты исследования процесса ионно-лучевого напыления двухосно ориентированного мультикристаллического буферного слоя двуокиси циркония, стабилизированной иттрием, на металлическую ленту - подложку в установке НИЛО. Проведен анализ полученных результатов и выработаны рекомендации и специальные требования к оборудованию и параметрам технологического процесса.