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液滴塗布装置の吐出異常検知に関する研究

机译:液滴涂覆装置放电异常检测的研究

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摘要

In recent years inkjet technology has a wide range of application including Flat Panel Display and Semiconductors. As compared with consumer appliances, industrial inkjet requires higher specifications in terms of dot placement accuracy and droplet volume uniformity. The stability of inkjet is a major requirement and then an in-situ monitoring system for inkjet condition is strongly required to prevent inferior products. In piezo-driven inkjet heads, the piezo actuators can be used as sensors to detect jetting failures caused by air bubbles. This might be the key technology to improve the reliability of the inkjet process. In this paper, we propose the model of jetting failure detection system and point out how the modification of the inkjet driving circuit for better jetting performance influences on the detection results. The prototype of the jetting failure detection system is developed and used to validate the detection algorithm both in time and frequency domain. This prototype and detection algorithm can realize the in-situ monitoring for all jetting due to high-speed system configuration.%近年,インクジェット技術の進歩は目覚しく,プリンタの範rn疇を超えて,Flat Panel Display(以下,FPDと記す)や電子rnデバイス等の産業分野へと,その応用範囲を広げている.しrnかし,量産に適用された事例は,液晶の配向膜やカラーフィルrnタの製造と,未だに少ないのが現状である.産業用途への適応rnが進まない根本原因の一つは,気泡や微小ダストがヘッド内部rnに入り込む事によってしばしば吐出異常が起き,量産レベルのrn吐出安定性を実現するのが難しいためである.
机译:近年来,喷墨技术具有广泛的应用,包括平板显示器和半导体。与消费类电器相比,工业喷墨机在点放置精度和液滴体积均匀性方面需要更高的规格。喷墨的稳定性是主要要求,因此强烈需要喷墨状态的原位监视系统以防止劣质产品。在压电驱动的喷墨头中,压电执行器可用作传感器,以检测由气泡引起的喷射故障。这可能是提高喷墨过程可靠性的关键技术。在本文中,我们提出了喷射故障检测系统的模型,并指出了改进喷墨性能的喷墨驱动电路如何影响检测结果。开发了喷射故障检测系统的原型,并用于在时域和频域上验证检测算法。由于采用高速系统配置,该原型和检测算法可以实现对所有喷射的原位监测。记し)や电子rnデバイス等の产业分野のと,その応用范囲を広げている。しrnかし,量产に适用された事例は,液晶の配向膜やカラーフィルrnタの制造と,未だに少ないのが现状である。产业用途への适応rnが进まない根本原因の一つは,気泡や微小ダストがヘッド内部内部に入り込む事によってしばしば吐出异常が起き,量产レベルのrn吐出安定性を実现するのが难しいためである。

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