レーザ回折／散乱法による粒子径計測の演算精度向上に関する研究

摘要

レーザ回折／散乱法は，測定範囲の広さ，操作性の簡便さ，再現性の高さなどの特徴から最も広く使用されている粒子径計測装置の1つである。本方式は，粒子群の散乱光強度分布から逆演算手法を用いて粒子径分布を求める。つまり，粒子径を間接的に測定する原理のため，装置構成が測定精度に与える影響を異なった装置間で直接比較することば困難である。