机译:电感耦合等离子体反应器中流量和蚀刻速率的直接模拟蒙特卡洛分析
机译:通过直接模拟蒙特卡洛算法对电感耦合等离子体质谱仪的上游和采样喷嘴中的气流进行建模
机译:使用直接模拟蒙特卡洛方法对电感耦合等离子体质谱仪接口的等离子体提取效率进行建模
机译:混合型直接模拟蒙特卡洛法在电感耦合等离子体中的中性耗尽
机译:直接模拟蒙特卡洛方法预测的低压低压等离子体反应堆中自由基和离子通量的均匀性
机译:电感耦合等离子体刻蚀反应器中离子流和硅刻蚀速率的二维均匀性
机译:直接模拟蒙特卡洛法研究载气流速和源电池温度对低压有机气相沉积模拟的影响
机译:电感耦合等离子体的直接模拟monte Carlo及其与实验的比较