タンデム型低コヒーレンス 干渉計とその応用

摘要

光の干渉を利用した長さや形状の計測法は，非接触，rn高感度，高速・並列測定が可能，電磁的誘導を受けない，rnなど優れた特長を備えている。レーザーを光源とした光rn波干渉計は，高コヒーレンス，高分解能，高指向性や高rn集光性といった特長を持ち，精密計測分野で多数用いらrnれている。しかし，レーザーの干渉性の高さに起因する，rnいくつかの技術的問題がある。干渉縞は光路差に対してrn光源波長を周期とした周期関数となるため，光路差が光rn源波長を超えると，干渉縞次数の判別がつかない。そのrnため，光路差が一波長以上となる不連続な段差の絶対測rn定はできない。また，途中の光学素子表面や試料の不要rnな部分で反射，散乱された迷光が入ると，不要な干渉信rn号が加わり，測定精度が低下する。