机译:利用电子束制作母盘及压纹工艺
Department of Mechanical and Electro-Mechanical Engineering, National Sun Yat-Sen University, 70 Lien-hai Rd., Kaohsiung 804, Taiwan, ROC;
mastering; high-density; electron beam; lithography; ni-co;
机译:使用反应性离子束蚀刻对光学数据磁盘进行母盘制作
机译:利用改进的LIGA脱模机构的电子束光刻技术进行高密度光盘母盘制作
机译:实用的电子束记录仪,用于高密度光盘和磁盘母版制作
机译:电子束记录仪对光盘母版制作工艺的优化
机译:通过电子束光刻技术制造衍射光学元件。
机译:通过聚焦电子束诱导加工探索金属纳米结构对金属纳米结构的制造和转移机理
机译:用于磁盘母带的电子束记录器的性能
机译:用于制造亚半微米栅极长度mmIC芯片的组合电子束/光学光刻工艺步骤