微細化や大型化を支える加工技術デバイスの進化と生産効率の両立が課題に

摘要

生産効率を追求するためにLSIや液晶ディスプレイ（LCD）の製造技術の進化は依然として続いている。最先端のLSIでは微細化を追求する一方で，直径450mmの大型ウエーハの導入に向けた検討が始まった。大画面LCDの量産では1辺が3mを超えるガラス与板が使われている。だが，微細化や大型化が進むにつれて，製造装置において高い加工精度を維持すことは難しくなる。こうした課題を解決するための－つのカギを握っているのが製造装置を構成する部品だ。