酸化物半導体TFTを見極める基礎技術は確立，応用開拓が実用化のカギ

摘要

FPDを駆動するTFTの材料として酸化物半導体が注目を集めている。テレビなrnど既存市場のパネルを高精細，高速化し，さらにフレキシブル・ディスプレイのrnような新しい応用も開く可能性を秘めているからだ。研究レベルでは実際にパrnネルを試作した例が数多く出てきている。しかし，便い慣れたアモルファスSiにrn代えて，量産する製品に新材料を導入するとなると話は単純ではない。実用化にrn向けて検討すべき課題は多い。酸化物半導体の実用化に懐疑的な立場を取る技rn術コンサルタントの小穴保久氏と第一線で酸化物半導体を研究する5人が実用rn化を念頭に置いた現状と見通しを徹底討論した。