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机译:无掩模微等离子体刻蚀的多层悬臂残余应力引起的变形研究
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机译:用于无掩模扫描等离子体蚀刻的反应气体中倒置的金字塔形空心阴极微等离子体装置的特性
机译:集成微等离子体反应器的微悬臂探针的无掩模扫描等离子体刻蚀设计与制造
机译:用于无掩模纳米级材料蚀刻的微等离子体装置阵列的开发
机译:沉积过程中残余应力引起的MEMS结构自组装的实验研究。
机译:用于无掩模纳米级刻蚀的微介质阻挡放电反应器SiNx薄膜的制备
机译:考虑塑性变形变化与方向性的数值模拟遗迹分布估计:地震剩余变形分布研究,第3部分