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机译:用于振动能量收集的ScAlN MEMS悬臂梁
Institute for Sensor and Actuator Systems, TU WIEN, Vienna, Austria;
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Aluminum nitride; III-V semiconductor materials; Energy harvesting; Electrodes; Power generation; Resistance; Micromechanical devices;
机译:基于机械振动的MEMS压电悬臂梁在能量收集中的比较分析
机译:新型S形MEMS PZT悬臂用于从30 Hz以下的低频振动中收集能量
机译:Scaln / Aln梯形悬臂的设计和性能基于MEMS压电能量收割机
机译:用于环境振动采集的MEMS压电能量悬臂装置的设计优化
机译:用于振动能量收集的基于MEMS的压电悬臂阵列的开发。
机译:悬臂的第三固有频率振动的特殊性用于改善能量收集
机译:基于PZT薄膜阵列的基于MEMS的压电悬臂,可从低频振动中收集能量