CO_2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas

摘要

Die Laserstrahlformung mittels diffraktiver Phasenelemente (DPEs) gehört aktuell zu den Forschungsgebieten der Optik mit den größten Anwendungs- und Innovationspotenzialen. Es wird zukünftig möglich sein, aus einem beliebigen Strahlprofil nahezu jede gewünschte Strahlverteilung zu formen. Ein Anwendungsfeld ist beispielsweise die Strahlhomogenisierung. Die Herstellung von DPEs erfolgt gegenwärtig hauptsächlich mittels Lithographieverfahren. Diese Verfahren sind für die Massenproduktion gut geeignet, jedoch aufgrund des hohen Material-und Zeitaufwandes für eine Einzel- und Prototypenanfertigung kostenintensiv. Ein alternatives Verfahren ist die Fluorlasermikro-strukturierung mittels Maskenprojektionsverfahren. Dieses Verfahren ermöglicht die Direktstrukturierung von DPEs in wide band gap Materialien und Quarzglas.