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机译:带有MeV离子束的可编程接近孔径光刻
Department of Physics, University of Jyvaeskylae, P.O. Box 35 (YFL), Jyvaeskylae FIN-40014, Finland;
机译:使用MeV离子束可编程近程孔径光刻(PPAL)制作微流控设备
机译:可编程近程孔径MeV离子束光刻技术实现高速微流控原型
机译:MeV离子束光刻中的孔边缘散射。二。从矩形孔散射
机译:可编程近程MeV离子束光刻系统的分辨率性能
机译:使用离子束近距离光刻技术制造环形纳米结构。
机译:使用无壁组织当量比例计数器的290-MeV / u碳和500-MeV / u铁离子束的线能量分布的径向依赖性
机译:高分辨率氦离子束光刻的接近效应量化和剂量优化
机译:Ionenstrahllithographie:Entwicklung Eines 1:1 proximity projektionsverfahrens auf der Basis von Channeling-masken(离子束光刻:开发基于通道掩模的1:1接近投影方法)