机译:通过局部沉积和干法刻蚀制造的具有91 MHz共振频率的纳米机械结构
Swiss Fed Inst Technol, EPFL, Microsyst Lab, Inst Microelect & Microsyst, CH-1015 Lausanne, Switzerland;
ATOMIC-FORCE MICROSCOPY; LITHOGRAPHY; MASK;
机译:C:F沉积对CHF3 60 MHz / 2 MHz双频电容耦合等离子体中SiCOH低k膜蚀刻的影响
机译:C:F沉积对CHF3 60 MHz / 2 MHz双频电容耦合等离子体中SiCOH低k膜蚀刻的影响
机译:通过模版沉积和干法刻蚀制造的90 MHz纳米机械结构
机译:基于新型纳米球面光刻技术的金纳米结构局部表面等离子体共振的生物传感。
机译:干/湿蚀刻法制备的微纳米杂化结构的减反射研究
机译:纳米力学结构具有91 MHz共振频率,由局部沉积和干蚀刻制造
机译:通过掩模离子束光刻和干蚀刻制造的亚微米结构