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机译:中性离子束注入器中氧气杂质的测量和通过吸气工艺降低浓度
机译:大功率中性束注入器中束能谱和杂质含量的测量
机译:调节低温和高温IG工艺中的氧气浓度以及外延晶片中的硼浓度以吸收金属杂质
机译:用于CMOS图像传感器的C3H5碳簇离子注入硅晶片的近乎吸杂:过渡金属,氧和氢杂质的吸杂效应(第55卷,121301,2016)
机译:在低温和高温IG工艺中调节氧浓度和外延晶片中的硼浓度,用于造成金属杂质的吸气
机译:托卡马克锂实验中杂质浓度和迁移率的测量。
机译:用于氧气等离子体中性原子测量的光纤催化传感器
机译:中性光束喷射器氧气杂质测量和通过吸收过程浓度降低
机译:中性束注入器氧杂质测量和通过吸气过程减少浓度