机译:使用等离子刻蚀的硅印章并通过原位沉积含氟聚合物介导的纳米转移印刷
Department of Chemistry, University of Tennessee, Knoxville, Tennessee 37996, United States;
Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, Tennessee 37831, United States;
Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, Tennessee 37831, United States;
Department of Chemistry, University of Tennessee, Knoxville, Tennessee 37996, United States;
机译:纳米转移印刷的改进表面化学,薄膜沉积技术和印章设计
机译:聚四氟乙烯磁控溅射沉积的含氟聚合物膜的表征以及在(100)取向的单晶硅衬底上的七氟-1-癸烯(HDFD)的等离子体聚合
机译:纳米转移印刷制备的硅薄膜的弹性模量
机译:塑料生物技术应用的等离子体蚀刻的微机械硅压液
机译:三氟化氮/乙烯等离子体中的氧化硅和氮化硅蚀刻机理。
机译:等离子沉积的含氟聚合物薄膜掩膜用于局部形成多孔硅
机译:等离子沉积的含氟聚合物薄膜掩膜,用于局部形成多孔硅
机译:用于监测氯 - 氦等离子体中多晶硅的等离子体蚀刻期间的蚀刻均匀性的光学诊断仪器。