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机译:通过液体输送金属有机化学气相沉积法沉积在平面和沟槽结构上的LiCoO_2薄膜阴极的结构和电性能
Department of Materials Engineering, Chungnam National University, Daeduk Science Town, 305-764 Daejon, South Korea;
LDMOCVD; LiCoO_2 thin films; step-coverage; trench-structure; discharge-capacity; pt collector;
机译:锗掺入对化学气相沉积硼掺杂超薄多晶硅(Si_(1-x)Ge_x)薄膜结构和电性能的影响
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机译:LiCoO_2薄膜沟槽阴极,通过液体输送金属化学气相沉积,用于可充电锂电池
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