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机译:20纳米节点电子束直接写入和浸没式光刻的比较
MAPPER Lithography, Computerlaan 15, 2628 XK Delft, The Netherlands;
Altera Corporation, 101 Innovation Drive, San Jose, California 95134, United States;
Altera Corporation, 101 Innovation Drive, San Jose, California 95134, United States;
MAPPER Lithography, Computerlaan 15, 2628 XK Delft, The Netherlands;
CEA-Leti, 17 Rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, France;
20-nm node lithography; e-beam direct write lithography; electronic design automation; process window; Altera Corporation; FPGA; MAPPER Lithography; FLX-1200;
机译:直写电子束光刻技术在氢倍半硅氧烷超高纵横比结构的纳米加工中的应用
机译:电子投影和电子束直接写入光刻中的图像形成
机译:使用电子束直接写入光刻技术在超高密度互连结构上评估线成品率的45 nm节点后端
机译:20纳米节点的电子束直接写入和浸没式光刻的比较
机译:通过液相外延生长的铌酸锂薄膜中的直接写入电子束亚微米域工程。
机译:使用电子束光刻技术从活细胞中检测细胞因子的直接写入蛋白模式
机译:使用浸没式光刻和石墨外延定向自组装在7-nm节点中通过构图