机译:多模干涉波导实现的宽带光学MEMS干涉仪
Si-Ware Systems, Cairo, Egypt;
Beam splitting; Deep reactive ion etching (DRIE); Fourier transform spectrometer; MEMS optical bench technology; MMI waveguide; SOI wafer; deep reactive ion etching (DRIE); multimode interference waveguide; silicon-on-insulator (SOI) wafer;
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